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立式双篮硅片洗涤烘干机
立式双篮硅片洗涤烘干机
型号:CGB-XXXX-XX系列,品牌:华林嘉业-CGB 1,功能:1。
将工件放入晶圆盒中并将其放在转盘上。
2
用双手按下开始按钮时,气瓶会自动盖住顶盖,3。
当气缸的引导门闩锁就位时,屏蔽门被锁定。
上甲板喷杆开始喷洒纯净水,外筒排水并防止水进入气缸。同时,旋转支撑开始旋转。当前速度低(速度1)并且可以人工设置。
(当前过程:200转,2分钟)。
可根据需要调整清洁时间。
4
在洗涤结束时,顶部喷射杆停止喷射,并且在喷射时喷射加热的氮气并加热。
加热温度分为高温和低温。
加热时间可以人为调节,油浴炉的温度为110度,可以在屏幕上校正最高温度设定。
(当前过程:500转,6分钟)。
加热在油浴炉中加热,加热介质是乙二醇。
热温度控制在120度或更低。
加热系统的辅助加热。


Time:2019-09-15 10:14:26  编辑:admin
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